Magnetron-Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 133529569

„Die Gruppen, die die hier beantragte Magnetron-Sputteranlage nutzen werden, arbeiten auf den Forschungsgebieten ultraschnelle Phänomene an Oberflächen, Magnetismus, Nano- und Biosensorik und Nano-Optik. Diese Forschungsthemen sind in das Landesforschungszentrum OPTIMAS („Optik und Materialwissenschaften“) eingebunden. Alle Arbeitsgruppen betreiben Forschung an mit magnetischen, metallischen und/oder dielektrischen Lagen beschichteten Proben. Bisher ist keine Magnetron-Sputteranlage an der TU Kaiserslautern vorhanden, mit der diese Beschichtungen durchgeführt werden können. Die Arbeitsgruppen sind auf die Zulieferung der Proben von außen angewiesen. Wegen der inzwischen zahlreichen von der Sputter-Beschichtung abhängigen Projekte und der voraussichtlich ganztägigen Auslastung einer Magnetron-Sputteranlage mit den Arbeiten der Nutzer ist es auch nicht möglich, andere Gruppen oder gar Firmen ständig um entsprechende (gegebenenfalls bezahlte) Auftragsarbeiten zu bitten. Die Beschichtungen müssen in den Gruppen der Nutzer - zugeschnitten auf die Belange der Forschungsvorhaben – entworfen und optimiert werden. Deshalb wird hier eine Magnetron-Sputteranlage beantragt. Für die TU Kaiserslautern bedeutet die Beschaffung einer Magnetron-Sputteranlage den Ausbau ihrer Grundausstattung um eine weitere „state-of-the-art“-Technologie.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
• Leiter: Professor Dr. Martin Aeschlimann