Nichtthermischer, reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajet (B12)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung von 2009 bis 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5486308

Im Projekt wird die raum-zeitliche Entladungsentwicklung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmajets sowie seine Kinetik während der plasmagestützten chemischen Dampfphasenabscheidung (PE-CVD) von SiOx-Schichten experimentell untersucht. Im Mittelpunkt steht die Untersuchung der niederfrequenten Entladungsdynamik und der Strukturierung der Mikroentladungen unter laminaren Strömungsverhältnissen. Die mikroskopischen Plasmaparameter werden mittels spektroskopischer Methoden erfasst und in Kooperation mit gekoppelt mit einer hydrodynamischen Modellierung.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 24: Grundlagen komplexer Plasmen
• Antragstellende Institution: Universität Greifswald
• Mitantragstellende Institution: Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. (INP)
• Teilprojektleiter: Dr. Rüdiger Foest; Professor Dr. Rainer Hippler, bis 6/2013; Professor Dr. Klaus-Dieter Weltmann