Dynamische Nanopositionierung für kleine Bewegungsbereiche (A11*)

• Fachliche Zuordnung: Automatisierungstechnik, Mechatronik, Regelungssysteme, Intelligente Technische Systeme, Robotik
• Förderung: Förderung von 2009 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Das Konzept der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NPMM) erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination vorcharakterisierter Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Die externen Positions- und Auslenkungs-detektierungsmechanismen limitieren die Dynamik der Maschine und erlauben keine Anpassung der Zeitkonstante von einem zu untersuchenden physikalischen, chemischen oder biomolekularen Prozess, insbesondere wenn diese Prozesse in wenigen Millisekunden („Echtzeit“) ablaufen. Eine schnelle dynamische Nano-Positioniervorrichtung für kleine Bewegungsbereiche (DNPV) in Kombination mit der NPMM soll es ermöglichen, mit Nano- Werkzeugen oder Sonden eine positionsgenaue Analyse in Echtzeit mit Nanometerauflösung durchzuführen.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Ivo W. Rangelow