Modelbased Controldesign for Nanopositioning and Nanomeasuring Machines (C06*)

• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: from 2009 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Die dynamische Führung einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine stellt aufgrund der wachsenden Bewegungsbereiche und den steigenden Anforderungen an die Positionierunsicherheit extreme Anforderungen an ein Regelungssystem. Um diesem gerecht zu werden, wird die konsequente Entwicklung eines modellbasierten Regelungskonzeptes vorangetrieben. Daneben wird das Regelungssystem um eine kombinierte Kraft-/Positionsregelung erweitert, mit dem Ziel taktile Mess- und Fertigungsaufgaben im Nanometerbereich zu ermöglichen. Abschließend werden die entwickelten Regelungskomponenten in einer Softwarebibliothek modular zusammengefasst und so die Nachhaltigkeit der Forschungsergebnisse gesichert.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Christoph Ament