Zwei-Strahl-Gerät (Feldemissions-SEM und Focused Ion Beam)

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 142952340

„Das Zwei-Strahl-Rasterelektronenmikroskop soll die Charakterisierung von Polymeren, metallischenund nichtmetallischen Werkstoffen sowie höchstauflösende Aufnahmen ermöglichen. Hierbei werdenfolgende Anforderungen der verschiedenen Fachgruppen berücksichtigt:Das neue Elektronenmikroskop soll einen Feldemitter haben, um eine Auflösung imNanometerbereich zu gewährleisten, da in mehreren Arbeitsgruppen Projekte mit Nanomaterialienbearbeitet werden. Eine FIB soll die Erzeugung neuer Oberflächen im Gerät, Polieren vonProbenoberflächen und Herstellung von TEM-Lamellen ermöglichen. Die EDX muss eine Analysedünner Schichten (z.B. nm-Sol-Gel-Schicht auf Glas) und an Objekten im Nanometerbereichgewährleisten. Eine Elektronenrückstreudiffraktometrie (EBSD) soll die Ermittlung vonKornorientierungen sowie Kristallstrukturen erlauben, was sowohl für metallische als auchnichtmetallische Materialien von großem Interesse ist. Eine Kryo-Einheit soll z. B. die Betrachtungfestigkeitsbildender Reaktionen bzw. Reaktionsprodukte im Bereich der hydraulischen Bindemittelermöglichen. Eine variable Beschleunigungsspannung bis hin zu <1kV sowie ein möglichst geringerArbeitsabstand sind zur Betrachtung unbesputteter, nichtleitender Proben (Polymere undnichtmetallische Werkstoffe) notwendig.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Clausthal
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Jürgen G. Heinrich