Kombinierte Aufdampf- und Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 167001312

„In den laufenden und geplanten Projekten werden metallische Elektroden sowie dielektrische Schichten mit hoher Qualität benötigt. Dielektrische Schichten werden zurzeit in derselben Anlage erzeugt wie die metallischen Elektroden. Dies führt zu Querkontamination und damit zu dielektrischen Schichten mit geringerer Durchschlagsfestigkeit. Teilweise werden in den Projekten transparente metallische Elektroden benötigt; dabei kommt es auf eine hohe Leitfähigkeit an. Hier führt eine Querkontamination mit nicht leitenden dielektrischen Schichten zu einer geringeren Leitfähigkeit oder zu weniger transparenten Elektroden. Beides führt zu schlechteren wissenschaftlichen Ergebnissen in den Projekten. Die bisher genutzte Edwards- Aufdampfanlage aus dem Jahr 1995 hat eine durchschnittliche Nutzung von 1500 Stunden im Jahr. Die Anlage ist von minderer Qualität, ist sehr wartungsintensiv und hat einen hohen Verschleiß. Damit ist sie sehr reparaturanfällig. Mit der neuen Anlage würden die Wartungs- und Reparaturkosten sinken. Da die Wartung mit vorhandenem Personal durchgeführt wird, wäre die neue Anlage auch eine Entlastung der knappen personellen Ressourcen. Die Ergebnisse für die laufenden und geplanten Forschungsvorhaben würden nachhaltig verbessert. Dielektrische Schichten zu sputtern stellt eine Erweiterung der am Institut für Physik und Astronomie vorhandenen physikalischen Schichttechniken dar, die bei der künftigen Einwerbung von Drittmittel wichtig sein wird.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Universität Potsdam
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Reimund Gerhard