HPPMS Plasmen: Zeit- und ortsaufgelöste Charakterisierung vom Target zum Substrat (A05)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Das erhöhte Potenzial in den Spokes bestimmt vermutlich die Anzahl und Energie der Ionen, die das Substrat erreichen. Da die Spokes mit Geschwindigkeiten zwischen 5 und 15 km/s in azimuthaler Richtung rotieren, wird dieser Zusammenhang detailliert mit raum- und zeitaufgelösten Diagnostiken untersucht. Zu diesen Diagnostiken zählen sowohl die Massenspektrometrie als auch aktive und passive optische Diagnostiken, die mit Hilfe eines speziellen Triggersystem auf das Auftreten von Spokes synchronisieren zu können. Ziel des Projektes ist es, durch die Verknüpfung von Messungen in Targetnähe, in der Transportregion und am Substrat den Transport lückenlos messen, verstehen und mit dem Plasma-Oberflächenmodell (PSM) validieren zu können. Aufbauend auf diesen Erkenntnissen sollen im Projekt Konzepte erarbeitet werden, wie in Industrieanlagen der Transport zum Substrat verbessert werden kann.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Privatdozentin Dr. Teresa de los Arcos, bis 6/2014; Professor Dr. Achim von Keudell, seit 7/2014; Dr. Volker Schulz-von der Gathen, seit 7/2014; Professor Dr. Jörg Winter, bis 6/2014