Hochskalierung und Einstellbarkeit von Plasma- und Schichtsystemeigenschaften (B01)

• Fachliche Zuordnung: Kunststofftechnik
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Im Fokus der Untersuchungen in B01 in der dritten Phase dieses Projekts stehen die Fortführung der Untersuchungen zur Skalierbarkeit der Plasmaprozesse aus dem Projektbereich B, deren Übertragbarkeit auf neue Anwendungen, Materialien und komplexere Substratgeometrien sowie die Systemeigenschaften und das Verhalten in Belastungskollektiven. Durch zwei neuartige Analysemethoden wird das Spektrum für die systematische Einstellung von Schichtsystemeigenschaften wie die Schichteigenspannung erweitert. Durch den Einsatz von Kunststoffen mit hoher Permeabilität als Substrate wird das Ziel verfolgt, Beschichtungen mit definierten Trenneigenschaften zu erzeugen, die als Membran eingesetzt werden können.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Rainer Dahlmann, seit 7/2014; Professor Dr.-Ing. Christian Hopmann, seit 7/2014; Professor Dr.-Ing. Walter Michaeli, bis 6/2014