Plasmadiagnostik zur Synthese von multilagen SiOx-Gradientenschichten mit gepulsten Mikrowellenplasmen und HF-Biasing kombiniert mit plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (PE-ALD) als Barriereschicht auf Kunststoffen (B04)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Die grundlegenden Mechanismen bei der Abscheidung von Barriereschichten auf Kunststoffen durch gepulste Mikrowellenplasmen und variablen HF-Bias werden mit Schichtanalytiken und quantitativen Plasmadiagnostiken untersucht. Ionenenergien und Reaktivteilchenflüsse werden hierbei über den variablen Bias gesteuert. Darüber hinaus werden mittels plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (PEALD) und der Kombination aus Atomlagen- und Molekularlagenabscheidung (ALD/MLD) besonders homogene Oxid- sowie Hybridschichten für Gasbarrieren und Membrananwendungen untersucht. Dabei werden die funktionalen Eigenschaften durch die Precursorchemie und die Prozessführung gezielt gesteuert.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Peter Awakowicz; Professorin Dr. Anjana Devi, seit 7/2014