Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
Final Report Abstract
Das Rasterelekronenmikroskop (REM) wird durch das Nano Structuring Center (NSC, „core facility“) der TU Kaiserslautern betreut und betrieben. Zurzeit wird das Gerät hauptsächlich von acht Arbeitsgruppen aus dem Fachbereich Physik und Maschinenbau und Verfahrenstechnik für eine Vielzahl von Forschungsprojekten verwendet. Pro Arbeitsgruppe sind ein bis zwei Mitarbeiter in die Benutzung des REMs von Mitarbeitern des NSC eingewiesen und verwenden es selbständig. Darüber hinaus wird es durch Mitarbeiter des NSCs für die Arbeitsgruppen anderer Fachbereiche und Institutionen im Service betrieben. Das Gerät wurde in den Forschungsprojekten zur Kontrolle der Geometrie und Maßhaltigkeit erzeugter Strukturen eingesetzt (insbesondere nach Nassätz- ebenso wie Trockenätzverfahren und nach Elektronenstrahl- und Laserlithographie). Darüber hinaus wurden damit Schichtdicken von Dünnschichtsystemen bestimmt, die zuvor mittels Magnetron-Sputterns, Elektronenstrahl-Verdampfens oder Molekularstrahl-Epitaxie auf einem Substrat aufgebracht wurden. Dazu werden die Proben gebrochen und von der Seite untersucht. In einem anderen Projekt wurden Mikrokugeln mit Durchmessern kleiner als 250 nm auf Spitzen von Cantilevern montiert. Dazu war eine Kontrolle der exakten Lage der Kugel auf der ca. 10μm hohen Hohlspitze erforderlich, die nur im REM möglich ist. Weiter wird das REM zur Prozesskontrolle und –analyse (z.B. Partikelanhaftung an Filtermaterialien, Verteilung von Nanopartikeln in Kompositmaterialien) verwendet. Hierbei geben REM-Bilder Aussagen über wesentliche Geometrie-parameter, welche im nanoskaligen Bereich liegen.
Publications
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