Plasmaätzanlage mit ICP-Anregung

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 189547853

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leader: Professor Dr.-Ing. Markus-Christian Amann (†)