Plasmaätzanlage mit ICP-Anregung

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 189547853

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Markus-Christian Amann (†)