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Plasmaätzanlage mit ICP-Anregung

Fachliche Zuordnung Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderung Förderung in 2010
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 189547853
 
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte
Gerätegruppe 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution Technische Universität München (TUM)
 
 

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