Monolothisch integrierter mm-Wellen Radarchip für Anwendungen in der Medizin (mm-Radar-IC)

• Antragsteller: Professor Dr. Erich Kasper
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2012 bis 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 193716063

Der Entwurf, die Simulation, Realisierung und Vermessung eines mm-Wellen Radar Chip in SIMMWIC (silicon monolithic mm-wave integrated circuit) wird vorgeschlagen. Der Leistungsbereich (μW) und die Integration aller „Front-End“ Subsysteme inklusive Planarantenne sind zugeschnitten auf extreme Miniaturisierungs-Anforderungen, wie z. B. in der Medizintechnik. Die monolithische Integration einer planaren Antenne mit einem Oszillator- und Detektorschaltkreis erfolgt auf je einem Si-Chip von kleiner 1cm². Als aktive Bauelemente werden mm-Wellen Dioden eingesetzt, deren Integration auf Si möglich wird durch vertikale Nanometerstrukturen, die mit Molekularstrahlepitaxie hergestellt werden.Dieser mm-Wellen Radar Chip im Frequenzbereich 60GHz – 90GHz, der später z.B. in ein Endoskop eingebaut werden kann, strahlt mm-Wellen geringer Leistung ab, deren von der Umgebung reflektierte Antwort im Empfangschip detektiert wird. Wegen der begrenzten Eindringtiefe von mm-Wellen in Materialien (z.B. typisch einige mm in Gewebe) ist die reflektierte Antwort charakteristisch für die Oberflächenbeschaffenheit des vom Strahl getroffenen Bereichs.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Professor Dr.-Ing. Jörg Schulze