Konfokales Linnik-Weißlicht-Interferometer zur lateral hochauflösenden Messung von Mikro- und Nanostrukturen

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Peter Lehmann
• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2011 bis 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 198145256

Die Mikro- und Nanotechnologien stellen die optische Messtechnik vor große Herausforderungen. Dies betrifft insbesondere auch die Weißlicht-Interferenzmikroskopie als etabliertes Verfahren der 3D-Erfassung von Mikrostrukturen. Während die Höhenauflösung im Nanometerbereich vielfach nachgewiesen ist, liegt die laterale Auflösung in der Praxis häufig über der durch die Lichtwellenlänge begrenzten optischen Auflösung. Zudem treten auch bei lateral aufgelösten Strukturen Störeffekte in Erscheinung, die zu großen Diskrepanzen zwischen der gemessenen und der realen Mikrotopographie führen. Hier setzt das beantragte Vorhaben an: Die limitierenden Einflüsse auf die laterale Auflösung sollen eingehend analysiert und durch modifizierte optische Anordnungen und Signalverarbeitungsalgorithmen in ihren Auswirkungen auf das Messergebnis reduziert werden. Ausgangspunkt der Untersuchungen ist ein hochauflösendes Linnik-Interferometer, das u.a. mit einer blauen LED und mit polarisiertem Licht betrieben werden soll, um möglichst feine Strukturen auflösen zu können. Ein konfokales Beleuchtungssystem auf Basis eines Mikrospiegelarrays erlaubt es zudem, konfokale Beleuchtungsszenarien zu realisieren. Ziel des Vorhabens ist es, das Verbesserungspotential der Kombination einer hochauflösenden inter-ferometrischen mit einer konfokalen Anordnung grundlegend experimentell und theoretisch zu unter-suchen, die für die Messung an feinen Strukturen maßgeblichen Effekte zu verstehen und daraus vorteilhafte Gerätekonfigurationen und Messstrategien abzuleiten.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen