Integration and nanopatterning techniques (Z01)

• Subject Area: Computer Science, Systems and Electrical Engineering
• Term: from 2011 to 2015
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 167917811

Für die Informationstechnologie der Zukunft müssen Strukturen im Nanometermaßstab präzise herge-stellt und mit gezielt eingebrachten Defekten versehen werden können. In diesem Projekt werden Strukturen wiesenkrecht angeordnete resistive Schalter auf der Basis von Oxiden und höheren Chalkogeniden im Nanometermaßstab entwickelt und mittels Nanostrukturierungsverfahren hergestellt. Diese Schichten und Bauelemente werden mittels hochgenauen Analysemethoden charakterisiert, so dass die Defektbildung untersucht und somit Rückschlüsse auf die Skalierbarkeit und den Einfluss auf die Eigenschaften gezogen werden können.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 917: Resistively Switching Chalcogenides for Future Electronics - Structure, Kinetics and Device Scalability: 'Nanoswitches'
• Applicant Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Co-Applicant Institution: Forschungszentrum Jülich
• Project Heads: Professor Dr. Detlev Grützmacher; Professorin Dr. Larissa Juschkin