Integration und Nanostrukturierung (Z01)

• Fachliche Zuordnung: Informatik, System- und Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2011 bis 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 167917811

Für die Informationstechnologie der Zukunft müssen Strukturen im Nanometermaßstab präzise herge-stellt und mit gezielt eingebrachten Defekten versehen werden können. In diesem Projekt werden Strukturen wiesenkrecht angeordnete resistive Schalter auf der Basis von Oxiden und höheren Chalkogeniden im Nanometermaßstab entwickelt und mittels Nanostrukturierungsverfahren hergestellt. Diese Schichten und Bauelemente werden mittels hochgenauen Analysemethoden charakterisiert, so dass die Defektbildung untersucht und somit Rückschlüsse auf die Skalierbarkeit und den Einfluss auf die Eigenschaften gezogen werden können.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 917: Resistiv schaltende Chalkogenide für zukünftige Elektronikanwendungen: Struktur, Kinetik und Bauelementskalierung "Nanoswitches"
• Antragstellende Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Mitantragstellende Institution: Forschungszentrum Jülich
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Professor Dr. Detlev Grützmacher; Professorin Dr. Larissa Juschkin