Mikro-Auge basierend auf Glasoptiken und durchstimmbaren Dünnschichtfiltern herstellbar in waferbasierter Fertigung

• Antragstellerinnen / Antragsteller: Professorin Dr. Martina Gerken; Professor Dr. Bernhard Wagner
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2011 bis 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 214154757

Ziel dieses Projektes ist die Realisierung von durchstimmbaren Mikro-Augen basierend auf Glasoptiken in Kombination mit durchstimmbaren Dünnschichtfiltern. Es sollen künstliche Einapertur- Augen aus Komponenten realisiert werden, die mit Verfahren der mikrosystemtechnischen Waferprozessierung hergestellt und zusammengefügt werden können. Geplant ist die Realisierung von aus mehreren Substraten zusammengesetzten durchstimmbaren abbildenden katadioptrischen Systemen. Dabei soll die Abbildung über sphärische und asphärische Mikrolinsen und -spiegel realisiert werden, die mit dem Verfahren des viskosen Glasfließens in waferbasierter Fertigung ausgeformt werden. Diese Glasoptiken werden kombiniert mit mehreren durchstimmbaren, segmentierten Dünnschichtfiltern für die Wellenlängenbereichs- bzw. Polarisationsselektion, die Fokusaktuierung und die Einstellung der Lichtstärke bzw. die Realisierung einer Blende. Die Durchstimmung der Dünnschichtfilter erfolgt über die Verformung integrierter Schichten aus PDMS (Polydimethylsiloxan) in Folge von thermischer bzw. elektrostatischer Aktuierung. Diese Waferlevel- Optiken werden erst nach der Systemintegration vereinzelt und bieten eine kostengünstige Herstellung für mittel- bis hochvolumige Anwendungen. Die Kombination von durchstimmbaren Dünnschichtfiltern mit Glasoptiken ermöglicht eine hohe optische Güte und Robustheit.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen