Spektroskopisches Ellipsometer

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 218403744

Die im Antrag genannten Gruppen, die das hier beantragte spektroskopische Ellipsometer nutzen werden, arbeiten auf den Forschungsgebieten Photonik, Physik und Technologie der Nanostrukturen und Nano- und Bioanalytik. Mittels spektroskopischer Ellipsometrie sollen kontaktlos und zerstörungsfrei dünne Schichten charakterisiert und Vorgänge an Grenzflächen und dünnen Schichten zwischen verschiedenen Medien orts- und zeitaufgelöst in Abhängigkeit der Wellenlänge beobachtet werden. Das dem Nano+Bio Center im Jahre 2005 zugekommene spektroskopische Ellipsometer ist weder Stand der Technik noch arbeitet es zuverlässig und ist vielen modernen Messaufgaben nicht mehr gewachsen. Insbesondere sind keine orts- und zeitaufgelösten Untersuchungen mit diesem Ellipsometer möglich. Deshalb wird hier ein hochmodernes spektroskopisches Ellipsometer beantragt, das die optischen Eigenschaften von dünnen Schichten ortsaufgelöst und die Vorgänge an Grenzflächen orts- und zeitaufgelöst erfassen kann.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5360 Meßgeräte für gestreutes und reflektiertes Licht, optische Oberflächen-Prüfgeräte
• Antragstellende Institution: Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
• Leiter: Professor Dr. Martin Aeschlimann