FIB/REM Zweistrahlgerät

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 219045095

„Das beantragte REM/FIB Zweistrahlgerät ermöglicht höchstauflösende Strukturierungs- und Analyseaufgaben, wie sie auf den Gebieten der Nanophotonik, der Nanoplasmonik, der Magnonics und der Nanostrukturierung anfallen und derzeit mit den an der TU Kaiserslautern vorhandenen Geräten nicht durchgeführt werden können. So können mit dem Gerät insbesondere dreidimensionale Proben (z.B. photonische Kristalle, photonische Metamaterialien oder magnonische Kristalle) auch im Volumen charakterisiert werden, um Strukturparameter zuverlässig zu vermessen. Hierfür ist eine sehr hohe Auflösung des Gerätes notwendige Voraussetzung. Die hochpräzise Nanostrukturieung mit dem fokussierten lonenstrahl und eine gleichzeitige Beobachtung mittels REM erlauben Strukturierungsaufgaben wie z.B. das Einbringen von Defekten in photonische Kristalle, die Strukturierung von Sonden für die Nahfeldmikroskopie, die Bearbeitung von magnetischen Schichten und die Präparation plasmonischer Strukturen. Die Gasinjektionssysteme erlauben das gezielte Anbringen von Kontakten zur elektrischen Vermessung von Nanostrukturen. Die Möglichkeit, TEMLamellen zu präparieren und im gleichen Gerät mittels Rastertransmissionselek-tronenmikroskopie (STEM) zu charakterisieren, ist für die Halbleiterbauelemente-Entwicklung entscheidend. Dieses Gerät gibt den beteiligten Arbeitsgruppen und der TU Kaiserslautern die Möglichkeit, ihre führende Position weiter auszubauen.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
• Leiter: Professor Dr. Georg von Freymann