FIB/REM Zweistrahlgerät
Final Report Abstract
Das Zweistrahlsystem wird als Werkzeug zur Probencharakterisierung und Probenstrukturierung im Rahmen einer zentralen Einheit von vielen Arbeitsgruppen genutzt, die aus den Fachbereichen Physik, Maschinenbau und Biologie kommen. Dementsprechend vielfältig sind die mit der Anlage erzielten Ergebnisse. Wesentliche Beiträge wurden zur Charakterisierung der inneren Struktur dreidimensionaler aperiodisch deterministischer photonischer Strukturen geleistet: Durch Querschnitte mit dem fokussierten Ionenstrahl konnten die Strukturparameter zuverlässig ermittelt und mit den Herstellungsparametern abgeglichen werden. Diese Parameter waren die Grundlage für numerische Simulationen, die zu einer sehr guten Übereinstimmung mit den experimentellen Messdaten geführt haben. Desweiteren wird das Zweistrahlgerät zur Fabrikation nanoplasmonischer Systeme verwendet, die in Kombination mit Spinwellenleitern zur Untersuchung der magneto-plasmonischen Kopplung dienen. Ebenfalls erfolgreich eingesetzt wurde das Zweistrahlgerät zur Präparation von TEM-Lamellen aus Halbleitermaterialien, um z. B. epitaktisch gewachsene Quantenpunkte nachweisen zu können. In den materialwissenschaftlich arbeitenden Gruppen aus dem Fachbereich Maschinenbau wird das Zweistrahlgerät zur Präparation von TEM-Lamellen verwendet, um Gefügeveränderungen nachweisen zu können.
Publications
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