UV-Excimerlaser für die Laser-Molekularstrahlepitaxie

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology ; Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 220059617

Der beantragte Excimerlaser ist das zentrale Gerät für den im Jahr 2006 fertiggestellten Reinraum-bereich des Instituts. Zurzeit wird ein ca. 15 Jahre altes, geliehenes Gerät eingesetzt, das durch das beantragte Gerät erstmalig aus dem Bestand der TU Braunschweig ersetzt werden soll. Mit dem Excimerlaser wurden und werden dünne Schichten für Sensoren in mehreren Forschungsprojekten hergestellt.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5700 Festkörper-Laser
• Applicant Institution: Technische Universität Braunschweig
• Leader: Professor Dr. Meinhard Schilling