UV-Excimerlaser für die Laser-Molekularstrahlepitaxie

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik ; Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 220059617

Der beantragte Excimerlaser ist das zentrale Gerät für den im Jahr 2006 fertiggestellten Reinraum-bereich des Instituts. Zurzeit wird ein ca. 15 Jahre altes, geliehenes Gerät eingesetzt, das durch das beantragte Gerät erstmalig aus dem Bestand der TU Braunschweig ersetzt werden soll. Mit dem Excimerlaser wurden und werden dünne Schichten für Sensoren in mehreren Forschungsprojekten hergestellt.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5700 Festkörper-Laser
• Antragstellende Institution: Technische Universität Braunschweig
• Leiter: Professor Dr. Meinhard Schilling