Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit EDX-Zusatz

• Fachliche Zuordnung: Chemische Festkörper- und Oberflächenforschung
• Förderung: Förderung in 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 233242859

„Das einzige Rasterelektronenmikroskop (REM) am Fachbereich Chemie ist nach ca. 20 Jahren Nutzung veraltet und technisch verschlissen. Ein REM ist aber für eine materialorientiert ausgerichtete Forschungseinrichtung ein zentrales Instrument. Die Forschungsgebiete der Hauptantragsteller sind dünne Filme, Grenzflächenphänomene und Nanooptik, wofür sie spektroskopische und mikroskopische Methoden einsetzen. Für völlig neuartige Informationen von Nanoobjekten werden mikrospektroskopische Techniken, wie z. B. TERS, bis zur Nanometer-Auflösung entwickelt. Ein hochauflösendes REM ist für die Charakterisierung von TERS- oder auch STM-Spitzen unverzichtbar. Eine komplementäre Abbildung zu untersuchender Nanoobjekte (plasmonische Strukturen, Inseln, Einzelmoleküle) mit einem hochauflösenden REM im Vergleich zu diesen Rastersondentechniken ist für die Probencharakterisierung als auch die methodische Weiterentwicklung von Schlüsselbedeutung. Bei der Untersuchung von dünnen Filmen (epitaktische Oxide, organische Schichten) und der Strukturbildung beim Wachstum sind hochauflösende Abbildungen von Oberflächentopographien und Inselstrukturen im REM essentiell. Für organische und isolierende Schichten sind gute Abbildungsbedingungen bei niedrigen Energien erforderlich. Zur Aufklärung und Untersuchung lateraler Heterogenitäten (Ausscheidungen) in Filmen oder des vertikalen Aufbaus von Schichtsystemen (Oxid- und Hartstoffschichten) an Schrägschliffen sind analytische Informationen aus Röntgenspektren (EDX) und Rückstreuelektronenverteilungen (BSE) essentiell. Darüber hinaus besteht in weiteren Gruppen der Fakultät, des Lisa+-Zentrums und für Industriekooperationen noch zusätzlicher Bedarf an hochauflösenden REM-Messungen von Partikeln, Clustern und Schichten.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Eberhard Karls Universität Tübingen
• Leiter: Professor Dr. Thomas Chassé