Untersuchungen des Diamantdrehprozesses mit eingebetteten Dünnfilm-Sensorarrays

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Eckart Uhlmann
• Fachliche Zuordnung: Spanende und abtragende Fertigungstechnik ; Produktionsautomatisierung und Montagetechnik
• Förderung: Förderung von 2013 bis 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 233422078

Ultrapräzisionsbearbeitung mit Diamantwerkzeugen findet zunehmend Verbreitung und wird für verschiedenste Anwendungen in der Optik, Halbleitertechnologie oder Lasertechnik eingesetzt. In diesem internationalen Forschungsprojekt werden Temperatur und Kraftsensoren eingesetzt, die direkt in Diamantwerkzeuge eingebettet sind. Diese Sensoren werden mit Hilfe der Dünnfilmtechnologie hergestellt, sind nur wenige Mikrometer groß und werden im Abstand weniger Mikrometer zur Schneidkante aufgebracht. Die Sensoren haben eine Reaktionszeit im Sub-Millisekundenbereich und ermöglichen neue Erkenntnisse im Bereich der thermo-chemischen und thermo-mechanischen Prozesse bei der Ultrapräzisionszerspanung. Die Sensoren werden vom IWF für die Untersuchung der thermo-chemischen Zusammenhänge beim Diamantverschleiß eingesetzt. Desweiteren entwickelt das IWF Versuchsaufbauten und Algorithmen zur Zustandsüberwachung und Prozessführung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung mit dem Ziel Verschleiß am Diamantwerkzeug zu minimieren.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Internationaler Bezug: USA
• Beteiligte Personen: Professor Dr. Kornel F. Ehmann; Professor Xiaochun Li; Professor Dr.-Ing. Dirk Oberschmidt