Zwei-Photonen-Laserlithographiesystem für dreidimensionale Nano- und Mikrostrukturierung mittels direktem Laserschreiben

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 237201064

„Die Anschaffung soll sowohl ein neues Feld im Bereich der Mikrooptik in Kombination mit optischen Glasfasern und anderen Trägersubstraten, wie zum Beispiel Leuchtdioden oder Oberflächenemitter eröffnen, als auch die Forschung im Bereich der dreidimensionalen Photonischen Kristalle und Metamaterialien sowie in der optischen Sensorik, Polarimetrie und Ellipsometrie vorantreiben.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Zwei-Photonen-Laserlithographiesystem für dreidimensionale Nano- und Mikrostrukturierung mittels direktem Laserschreiben
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Universität Stuttgart
• Leader: Professor Dr. Harald Giessen