Zwei-Photonen-Laserlithographiesystem für dreidimensionale Nano- und Mikrostrukturierung mittels direktem Laserschreiben

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 237201064

„Die Anschaffung soll sowohl ein neues Feld im Bereich der Mikrooptik in Kombination mit optischen Glasfasern und anderen Trägersubstraten, wie zum Beispiel Leuchtdioden oder Oberflächenemitter eröffnen, als auch die Forschung im Bereich der dreidimensionalen Photonischen Kristalle und Metamaterialien sowie in der optischen Sensorik, Polarimetrie und Ellipsometrie vorantreiben.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Zwei-Photonen-Laserlithographiesystem für dreidimensionale Nano- und Mikrostrukturierung mittels direktem Laserschreiben
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr. Harald Giessen