ECR Ionenquelle

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 278894013

Schnelle Ionen sind die Schüsseltechnologie sowohl in der Modifikation von Materialien z.B. bei der Dotierung von Halbleitern, als auch bei deren Charakterisierung. Die Arbeitsgruppe in Leipzig hat sich zur Aufgabe gemacht die bekannten Technologien und Methoden weiter zu verbessern und unter extremen Bedingungen anzuwenden. So können Ionen auf wenige Nanometer fokussiert werden, es können heiße oder kalte Oberflächen dotiert werden. Diese Anlage soll nun mittels einer ECR (Elektron Zyklotron Resonanz) - Quelle erweitert werden um zum einen das Spektrum der nutzbaren Ionen zu vergrößern, aber auch um hochgeladene Ionen zu erzeugen. Insbesondere soll hierbei die Untersuchung der Defekterzeugung in kristallinen Materialien im Vordergrund stehen. Während die Implantation von Ionen weitgehend beherrscht wird, ist die Defekterzeugung und Vermeidung noch nicht ausreichend geklärt. Durch das hier beantragte Gerät könnte ein wesentlicher Schritt zu Untersuchung der Defekte auf kleinen Skalen erreicht werden; so wird die Defekterzeugung und Migration mit einzelnen Ionen durchführbar. Ebenfalls erlauben hochgeladene schnelle Ionen, die Defekterzeugung unter neuartigen Bedingungen zu untersuchen. Anwendung findet diese neue Methode in der Herstellung von Hochleistungsbauelementen bis zur Untersuchung von Quantensensoren.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: ECR Ionenquelle
• Gerätegruppe: 5180 Elektronen- und Ionenstrahl-Quellen und -Bearbeitungsgeräte
• Antragstellende Institution: Universität Leipzig
• Leiter: Professor Dr. Jan Meijer