Helium-Neon-Ionenmikroskop

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 280397411

In einem Helium-Neon-Ionen-Mikroskop (HIM) wird ein fokussierter Ionenstrahl zur höchstauflösenden Abbildung oder Oberflächenstrukturierung eingesetzt. So lassen sich Abbildungen bis in den sub-Nanometer- Bereich oder Strukturen im einstelligen Nanometer-Bereich erzeugen. Auch isolierende Oberflächen z.B. organischer oder biologischer Präparate können ohne verfälschende Metallisierung abgebildet werden. Die speziellen Wechselwirkungsmechanismen der Ionen mit dem Substrat eröffnen den Zugang zu zusätzlichen Informationen, wie der Abbildung von extrem dünnen oder verborgenen Schichten, Kristallstrukturen oder der Materialzusammensetzung der Oberfläche. Durch hohe Tiefenschärfe lässt sich auch die 3D-Struktur von Oberflächen besonders gut analysieren. Die Beschaffung eines HIM bietet ein hohes Innovationspotential und weitgehendes Alleinstellungsmerkmal in der Region. Die Funktionalität des Geräts passt hervorragend in das Konzept der Tübinger Core Facility LISA+. Anwendungen sind z.B. exakt geformte Nanostrukturen zur Feldkonzentration im Bereich der Licht-Materie-Interaktion, organische Photovoltaik, höchstempfindliche Magnetfeld-Sensoren, die Analytik geologischer und biologischer Proben sowie die Herstellung von Substraten zur oberflächenverstärkten Raman-Spektroskopie. Mit Helium-/Neon-Ätzen bzw. dem Gasinjektions-System können neue Grenzen der Nanostrukturierung ausgelotet werden. Auch zur verstärkten Kooperation mit externen Partnern stellt das HIM ein attraktives Angebot dar.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Helium-Neon-Ionenmikroskop
• Gerätegruppe: 5160 Elektronenbeugungs-Apparaturen, LEED-, RHEED-, SHEED-Apparaturen
• Antragstellende Institution: Eberhard Karls Universität Tübingen
• Leiterin: Professorin Dr. Monika Fleischer