Optische Integrationstechnologie auf SOI-Basis

• Antragsteller: Professor Klaus Petermann, Ph.D.
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2006 bis 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 15008671

Dieser Projektvorschlag befasst sich einerseits mit der Entwicklung neuartiger Raman-Laser und der dazu notwendigen Technologien, andererseits mit der Entwicklung einer optischen on-chip Verbindungstechnologie (¿optische Interconnect-Technologie¿). Als Grundlage für die Arbeiten dienen miniaturisierte Rippenwellenleiter mit einer effektiven Modenfläche im Bereich zwischen 1 ¿ 5 µm2. Zur Entwicklung neuartiger, effizienter Raman-Laser werden auf der Basis bekannter Wellenleiterstrukturen neue Konzepte zur verteilten Pumpleistungseinkopplung realisiert. Die Interconnect-Technologie basiert auf einfachen Grundelementen: Gerade Wellenleiter, Umlenkspiegel (¿Verteiler, Koppler, Biegung¿) und abstimmbare Filter und Koppler auf Basis von Gitterstrukturen (¿Schalter, Entzerrer, Filter, Koppler¿). Dabei nutzen Umlenkspiegel und Filter ein einheitliches Wirkprinzip: Ihre Funktions-weise basiert auf dem hohen Brechzahlkontrast zwischen dem lichtführenden Silizium und den umgebenen Claddingmaterialien (Luft, SiO2, Si3N4).

• DFG-Verfahren: Forschungsgruppen
• Teilprojekt zu: FOR 653: Aktive und abstimmbare mikrophotonische Systeme auf der Basis von Silicon-On-Insulator (SOI)
• Großgeräte: Dispersionsmessplatz
• Gerätegruppe: 2740 Spezielle Meßgeräte für Fernschreib- und Datentechnik (außer Meßautomaten und Logikprüfgeräte 733)