Project Details
ΔE-Effekt-Sensoren (A04)
Subject Area
Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Term
since 2016
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 286471992
Wir untersuchen integrierte Delta-E-Effekt-Sensoren sowie 2D- und 3D-Konfigurationen mit geringem Rauschen und niedrigem LOD. MEMS-Chips und CMOS-Elektronik werden via Europractice hergestellt und an der CAU nachbearbeitet. Kleine Sensoren bieten hohe örtliche Auflösung und die ausgereifte Fertigungstechnologie ergibt hohe Reproduzierbarkeit. Zentrale Hypothesen sind: Multilagen mit antiparallelem Exchange Bias und dickeren Schichten verbessern das LOD individueller Sensorelemente; Der modellgestützter Entwurf führt zu geeigneten Sensoren für biomedizinische Anwendungen; Wir können Flusskonzentratoren/-leiter und magnetische Anisotropie mit hoher Reproduzierbarkeit herstellen; Edge-Processing ermöglicht drahtloses Auslesen.
DFG Programme
Sonderforschungsbereiche
Subproject of
SFB 1261:
Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
Antragstellende Institution
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
Teilprojektleiter
Professor Dr. Franz Faupel, until 6/2024; Professor Dr. Robert Rieger, since 7/2020; Dr.-Ing. Benjamin Spetzler