Neuartige räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie (2)

• Antragsteller: Professor Dr. Wolfgang Unger, Ph.D.
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2006 bis 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 31928214

Die Abbildung und Analyse nanoskaliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung, Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala werden geeignete Testproben benötigt. Es wird vorgeschlagen, in einem Projekt räumlich strukturierte Testproben mit Strukturbreiten zwischen 1 nm und 100 nm für die Charakterisierung und kontinuierliche Kontrolle von Rastersondenmikroskopen (SPM) zu entwickeln und herzustellen. Damit wird erstmals ein System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen Elemente Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) und den Abmessungen von lithographischen Strukturen (> 50 nm) aufweisen. Auf der Grundlage dieser Strukturen werden Verfahren zur Bestimmung der lateralen Auflösung und zur Charakterisierung der Sondenspitze entwickelt, erprobt und bezüglich ihrer Messunsicherheit auf der Grundlage des GUM charakterisiert. Diese Verfahren dienen der Qualitätssicherung in der Rastersondenmikroskopie und ermöglichen damit den Einsatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen