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Compressed Sensing in Ptychographie und Transmissionselektronenmikroskopie

Fachliche Zuordnung Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
Förderung Förderung von 2016 bis 2021
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 319898174
 
Im Rahmen dieses Projekts soll die Methode des Compressed Sensing eingesetzt werden, um die Objektrekonstruktion aus ptychographischen Datensätzen, bestehend aus hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskop (TEM)-Abbildungen oder Elektronenbeugungsmustern im Rasterelektronenmikroskop (REM), zu verbessern. Damit sollen auch die Datenakquise beschleunigt, und die notwendige Elektronendosis und somit die strahlinduzierte Probenschädigung reduziert werden. Im Besonderen sollen sowohl eine Methode zur schnellen Phasenabbildung im REM, ausgerüstet mit einem Transmissionsdetektor, als auch Nahfeldptychographie im TEM mit einer räumlichen Auflösung besser als dessen Informationslimit, entwickelt werden. Die erfolgreiche Umsetzung der Methode soll experimentell an zunehmend komplexer werdenden Standardproben verifiziert werden. Schließlich wird die Methode zur Untersuchung von besonders herausfordernden Proben wie Metall- und Metalloxidpartikeln verwendet, die durch Laserverdampfung in der Gasphase synthetisiert wurden.
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
 
 

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