Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann; Professor Dr.-Ing. Jens Müller; Professor Dr. Peter Schaaf
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien ; Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik ; Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2017 bis 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 324659519

Das DFG-Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration wird seit Dezember 2013 durch die DFG gefördert. Es umfasst die gesamte technologische und analytische Infrastruktur des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN). Gegründet wurde das ZMN im Jahr 2002 von neun Fachgebieten aus drei Fakultäten. Es besteht heute aus einem Gerätepark mit über 200 prozesstechnischen und analytischen Anlagen für die Mikro-Nano-Integration mit einem Wert von ca. 30 Mio. Euro. 2005 wurde das ZMN zu einer zentralen Betriebseinheit der TU Ilmenau umgewandelt und die Forschung in diesem Zentrum dem fakultätsübergreifenden Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano®) übertragen. Dieses beinhaltet gegenwärtig 38 Fachgebiete aus vier Fakultäten. Die einzigartige Kombination aus Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik auf Basis der Technologien von der Nanobearbeitung bis zur Systemintegration einschließlich der prozessbegleitenden Analytik stellt ein Alleinstellungsmerkmal des Gerätezentrums in der Forschungslandschaft dar. Dies erlaubt es Nutzern, einerseits Nanostrukturen mit neuen Funktionalitäten direkt in Mikrosystemen zu erzeugen und anderseits Nanostrukturen und -materialien in bestehende Systeme heterogen zu integrieren. Die nächste Förderperiode wird für die nachhaltige Weiterentwicklung der bereits implementierten professionellen Organisationsstrukturen, von der Einzelgerätenutzung hin zum Zugang zu komplexen Prozessketten, genutzt. Dazu sind die Transparenz der Kostenstrukturen und Nutzerregelungen, eine kontinuierliche Betreuung über alle Prozesse hinweg mit dem Resultat reproduzierbarer Ergebnisse (Qualitätskontrolle), sowie eine projektträgergerechte Abrechnung sicherzustellen. Eine umfassende Methodik für eine verursachergerechte Kostenermittlung wird entwickelt und mit dem bereits existierenden Anlagenreservierungs- und Buchungssystem verknüpft. Als Ansprechpartner für Nutzer des Gerätezentrums dient der wissenschaftliche Koordinator. Er ist für die Aufstellung eines Expertenteams zuständig, die die Machbarkeit der Anfrage prüft. So erhalten externe Nutzer auf einfache Art und Weise Zugang zur Einrichtung und nutzen diese als One-Stop-Shop. Der Prozess wird in seiner Ausführungsphase vom Labortechniker begleitet. Mit dem Übergang des wissenschaftlichen Koordinators und des Labortechnikers in dauerhafte Beschäftigungen werden die Prinzipien des Gerätezentrums nachhaltig in die Managementstrukturen des Zentrums integriert. Die stärkere Auslastung des Gerätezentrums durch externe Nutzer wird durch eine Reihe zusätzlicher Maßnahmen forciert. Zur verbesserten Verbreitung von Informationen und wissenschaftlichen Ergebnissen werden das Wiki des Zentrums, Workshops und Colloquien externen Nutzern zugänglich gemacht. Die Kooperationen und der Austausch mit anderen Gerätezentren werden verstärkt und ausgebaut.

• DFG-Verfahren: Gerätezentren