Funktionalisierung von Mikrosystemen mit Beschichtungen

• Antragsteller: Professor Dr. Jörn Wochnowski
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 2018 bis 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 392236626

Die Produktion von maßgeschneiderten dreidimensionalen Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich durch die Mikrobearbeitungstechnologie mit Hilfe von Femtosekundenlasern ist erst seit ungefähr zehn Jahren möglich.Ein wesentlicher Aspekt für Anwendungen dieser Technologie in der Mikrooptik, der Mikromechanik, der Mikroelektronik und der Mikrochemie ist die Möglichkeit - die über diese Mikrobearbeitungstechnologie erhaltenen Strukturen - in ihren Oberflächen zu modifizieren. Solche Modifikationen erfordern häufig für zahlreiche Anwendungen die Einführung von Metallen oder Metallkomponenten in solche Mikro- oder Nanosysteme. Die Chemische Gasphasenabscheidung von Organometallverbindungen (OMCVD) erlaubt die Metallabscheidung aus der Gasphase, ohne diese häufig sehr temperaturempfindlichen mikro- oder nanostruktuierten Substrate zu beschädigen. Die wesentliche Zielsetzung dieses Antrages ist in einem ersten Schritt mit Hilfe der Mikrobearbeitungstechnologie mit Femtosekundenlasern neuartige komplexe Mikro- und Nanostrukturen zu erhalten. In einem nachfolgenden Schritt sollen diese mittels der OMCVD mit interessanten Metallen funktionalisiert werden, so dass neuartige Anwendungen in den Bereichen in Mikro(Nano)optik, Mikro(Nano)mechanik, Micro(Nano)elektronik und Micro(Nano)chemie möglich werden können.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Internationaler Bezug: China
• Partnerorganisation: National Natural Science Foundation of China
• Kooperationspartner: Professor Dr. Ya Cheng