Interferometrische Prüfung von Asphären in streifender Inzidenz
Zusammenfassung der Projektergebnisse
Asphärische Flächen werden in modernen optischen Systemen zunehmend verwendet, da sie eine Verbesserung der Abbildungsqualität bei gleichzeitiger Reduktion der Anzahl an optischen Flächen erlauben. Um die Produktionskosten zu senken, sollten Oberflächenabweichungen der asphärischen Flächen allerdings schon vor dem Polieren ermittelt werden, so dass sie schon dort korrigiert werden können. Dies setzt also eine Messung rauer asphärischer Flächen mit hoher Genauigkeit voraus, so dass interferometrische Messverfahren mit senkrechtem Einfall und sichtbarem Licht nicht verwendet werden können. Durch einen streifenden Einfall lassen sich aber auch raue Oberflächen im sichtbaren Wellenlängenbereich vermessen und das auch bei beliebig steilen Asphären. Der Nachteil ist allerdings, dass jeweils nur ein schmaler Meridionalschnitt der Asphäre auf einmal gemessen werden kann, so dass eine vollflächige Messung viele Meridionalschnitte mit Drehung der Asphäre um ihre Symmetrieachse erfordert. Im Rahmen des Projekts wurde solch ein Verfahren entwickelt, bei dem insbesondere die Justage der einzelnen Meridionalschnitte zueinander und deren Zusammensetzen erforscht wurde.
Projektbezogene Publikationen (Auswahl)
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Grazing incidence interferometry for testing rough asperics. SPIE Optical Metrology, Munich, Germany (2019)
S. Rothau, K. Mantel, J. Schwider & N. Lindlein
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Interferometric grazing incidence test of rough steep convex spherical and aspherical surfaces: first simulations and experimental proof of principle. Applied Optics, 58(33), 9082.
Rothau, S.; Lindlein, N. & Schwider, J.
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Interferometrie in streifender Inzidenz: Simulationen und Ergebnisse. 120. Annual Meeting of the DGaO, Darmstadt, P4, (2019)
S. Rothau, K. Mantel, J. Schwider & N. Lindlein
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Vermessung konvexer, rauer Asphären mittels Interferometrie in streifender Inzidenz. 120. Annual Meeting of the DGaO, Darmstadt, B28, (2019)
S. Rothau, K. Mantel, J. Schwider & N. Lindlein
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Interferometric grazing incidence test of rough steep convex spherics: experimental data analysis. Applied Optics, 60(1), 52.
Rothau, S.; Mantel, K. & Lindlein, N.
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Grazing incidence interferometry for testing rough aspherics. Frontiers in Optics, Washington DC, JTh5A.93, (2021)
S. Rothau, T. Schamburek & N. Lindlein
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Interferometrie in streifender Inzidenz an Asphären. 122. Annual Meeting of the DGaO, Bremen, B21, (2021)
S. Rothau, T. Schamburek & N. Lindlein
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Interferometric grazing incidence test of rough steep convex aspherics: full 3D reconstruction of the object. Applied Optics, 61(15), 4246.
Rothau, S.; Schamburek, T.; Mantel, K. & Lindlein, N.
