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Einfluss der Target-Leistungsdichte auf die chemische Zusammensetzung von mittels Composite/Compound-Targets synthetisierten Dünnschichten (T05*)

Fachliche Zuordnung Beschichtungs- und Oberflächentechnik
Förderung Förderung von 2018 bis 2021
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629
 
Ziel ist die Entwicklung eines fundamentalen Verständnisses des Einflusses der Target-Leistungsdichte von Composite- (M-Al-C) und Compound-Targets (M2AlC mit M = Cr, Hf, Zr) auf die chemische Zusammensetzung von magnetrongesputterten Dünnschichten. Aus der Literatur ist bekannt, dass signifikante Abweichungen zwischen stöchiometrischen Target- und Schichtzusammensetzungen auftreten. Deshalb ist die Arbeitshypothese, dass nicht-stöchiometrische Composite-/Compound-Targetzusammensetzungen in der Abscheidung stöchiometrischer Nanolaminatschichten resultieren.
DFG-Verfahren Transregios (Transferprojekt)
Antragstellende Institution Ruhr-Universität Bochum
 
 

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