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Aerosolbasierte Kaltabscheidung: Co-Deposition von Funktionsmaterialien und Füllstoffen zur Substitution einer nachfolgenden Wärmebehandlung

Fachliche Zuordnung Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
Förderung Förderung von 2018 bis 2022
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 408251943
 
Erstellungsjahr 2023

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Das Projekt befasste sich mit der Substitution eines thermischen Nachbehandlungsschrittes bei der Herstellung von Schichten mit der Pulveraerosoldepositionsmethode (PAD). In der dem Projekt vorausgehenden Forschung war festgestellt worden, dass die elektronische und ionische Leitfähigkeit von PAD-Schichten weit unterhalb derer desselben Materials in Bulk-Form liegt. Ebenfalls war festgestellt worden, dass eine hohe intrinsische Druckspannung in den Schichten herrscht. Durch eine Wärmebehandlung konnte zum einen die elektrische oder ionische Leitfähigkeit um Größenordnungen gesteigert werden und zum anderen die Druckspannung relaxiert werden. Zum Zeitpunkt der Antragstellung nahm man an, dass ein Zusammenhang zwischen der auftretenden Druckspannung sowie der geringen elektrischen oder ionischen Leitfähigkeit besteht. In einer nachfolgenden Wärmebehandlung würde dann die Druckspannung relaxiert und infolgedessen die Leitfähigkeit gesteigert werden. Daher wurde im Rahmen dieses Projektes versucht, diesen Wärmebehandlungsschritt durch die Beimischung einer weichen Komponente zu ersetzen. Die weiche Komponente sollte einen großen Teil der Dehnung aufnehmen, die mutmaßlich die Druckspannung erzeugt. Im Verlauf des Projektes wurde jedoch gezeigt, dass die Steigerung der elektrischen/ionischen Leitfähigkeit nicht auf die vorherrschende Druckspannung zurückzuführen ist, sondern durch Gitterverzerrungen verursacht wird. Diese sind mittels XRD als sogenannter Microstrain messbar. Ebenso konnte eine von der Schmelztemperatur abhängige Formel zur Abschätzung der Annealing-Temperatur, also der Temperatur, an der die maximale Leitfähigkeitssteigerung erreicht ist, hergeleitet werden. Weiterhin wurde gezeigt, dass die Relaxation der intrinsischen Druckspannung bei niedrigeren Temperaturen stattfindet als das Annealing bzw. der Abbau des Microstrains. Mit 200 °C – 350 °C liegt dieses Phänomen eigentlich in einem Temperaturbereich, in dem man keine Verformung oder Spannungsrelaxation erwarten würde. Dieses Phänomen konnte jedoch abschließend durch die Kristallitgröße der Schichten erklärt werden. Mit einer Kristallitgröße von ca. 25 nm wird das Werkstoffverhalten stark durch den hohen Korngrenzenanteil beeinflusst und das Material verhält sich ähnlich einem Nanomaterial. Während das ursprüngliche Projektziel sich nicht als darstellbar herausstellte, wurden stattdessen die Prozesse aufgeklärt, die zur Steigerung der Leitfähigkeit von elektronisch oder ionisch leitfähigen Schichten führen. Weiterhin wurden auch die Mechanismen aufgeklärt, die zum Abbau der Druckspannung führen. Die Ergebnisse der Untersuchungen, die widerlegten, dass das ursprüngliche Projektziel überhaupt erzielbar ist, sind jedoch weitreichender und wertvoller, als die Erkenntnisse, die ein Erfolg des Projektes gebracht hätte.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

 
 

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