Ar Ionendünnungsanlage zur selektiven Präparation von TEM Proben

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 412993024

Am Wissenschaftlichen Zentrum für Materialwissenschaften der Philipps-Universität Marburg wird im Nutzerzentrum für Elektronenmikroskopie der Uni u.a. ein doppelt aberrations-korrigiertes Rastertransmissionselektronenmikroskop betrieben, das für wissenschaftliche Fragestellungen im Bereich neuartiger Funktionsmaterialien und hier vor allem von Halbleitern, Ionenleitern und oxidischen Materialien eingesetzt wird. In mehreren koordinierten und auch Einzelprojekten werden verschiedene elektronenmikroskopische Techniken (zum Beispiel hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie, hochauflösende Rastertransmissionselektronenmikroskopie, Elektronenenergieverlustspektroskopie und 4-dimensionale Rastertransmissionselektronenmikroskopie) betrieben, um Materialien und insbesondere auch deren Grenzflächen, vor allem quantitativ zu charakterisieren. Die untersuchten Proben werden momentan entweder mittels Dünnen mit fokussiertem Gallium Ionenstrahl oder konventionell durch Dünnen mit einem breiten Argon Ionenstrahl zur Elektronentransparenz präpariert. Bei beiden Verfahren treten umfangreiche Schädigungen der Probenoberflächen auf, die die quantitative Auswertung der Daten erschweren bzw. unmöglich machen. Mit Hilfe der beantragten Ionendünnungsanlage mit fein fokussiertem Argon Ionenstrahl können die geschädigten Oberflächenbereiche der Proben gezielt abgetragen werden und auch über große Bereiche homogen dünne Proben präpariert werden. Somit wird nicht nur die Qualität der mikroskopischen Analysen verbessert, sondern es werden auch quantitative Auswertungen der Zusammensetzung und auch von elektrischen Feldern, z.B. über Grenzflächen erst ermöglicht.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Ar Ionendünnungsanlage zur selektiven Präparation von TEM Proben
• Gerätegruppe: 5140 Hilfsgeräte und Zubehör für Elektronenmikroskope
• Antragstellende Institution: Philipps-Universität Marburg
• Leiterin: Professorin Dr. Kerstin Volz