Gerät zur Mehrphotonen-Lithografie

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2019
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 418911744

Das Institut für Technische Optik betreibt seit Jahrzehnten Forschung in den Bereichen Holografie, diffraktive Optik, Nanotechnologie, höchstauflösende Messtechnik und Simulation. In den letzten Jahren konnten zudem in Zusammenarbeit mit dem 4. Physikalischen Institut vielbeachtete Ergebnisse im Bereich der 3D-gedruckten komplexen Mikrooptik erzielt werden. Das beantragte Gerät zur Mehrphotonen-Lithografie soll die Forschung in den oben genannten Bereichen erweitern und die Grundlage liefern, um weitere Forschungsfelder hoher wissenschaftlicher und technologischer Perspektive zu erschließen. Konkret ist geplant:1.) Die Erzeugung von hochauflösenden computergenerierten Volumenhologrammen für die Implementierung völlig neuer optischer Systemlösungen in den Bereichen AR, VR, MR, sowie Faseroptik und Endoskopie.2.) Großflächige diffraktive Elemente mit komplexen dreidimensionalen Feinstrukturen und Nutzung des Lithografiesystems für die Erzeugung ausgedehnter Metaoberflächen.3.) 3D-Druck komplexer mehrlinsiger Mikro-Abbildungsoptiken, die zu aktiven Zoom- oder Schwenksystemen erweitert werden.Das Gerät fügt sich ideal in die bestehende von DFG und BMBF geförderte Gerätelandschaft ein. Besonders die Ausstattung zur Herstellung von diffraktiven Elementen und metallischen Nanostrukturen wird sinnvoll ergänzt. Darüber hinaus steht hochwertiges Equipment für die Vermessung der Strukturen zur Verfügung.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Gerät zur Mehrphotonen-Lithografie
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Stuttgart
• Leiter: Professor Dr. Alois Herkommer, seit 10/2018