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THz Schaltungen und Systeme in ultra-schnellen SiGe HBT Technologien

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 2019 bis 2023
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 419161860
 
Erstellungsjahr 2025

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Das Projekt untersuchte das Potenzial der weltweit schnellsten experimentellen SiGe-HBT- Technologieentwicklung in dem Frequenzbereich, der derzeit den III-V-Technologien vorbehalten ist. Da zu Beginn des Projekts jegliche Art von Verifizierung und Bewertung integrierter Schaltungen und deren Modelle bei THz-Frequenzen fehlte, mussten in allen wissenschaftlichen Disziplinen, die für die endgültige Modell-Hardware-Korrelation verantwortlich sind, erhebliche Anstrengungen unternommen werden. Diese Disziplinen umfassen die Modellierung von Transistoren, die Simulationsmethodik und Messtechniken. Alle diese Aspekte wurden detailliert analysiert, um ihre Auswirkungen auf die gemessene Leistung verschiedener breitbandiger Schaltungsblöcke und Subsysteme zu verstehen, damit THz-spezifische Entwurfstechniken definiert werden können, die über den derzeitigen Stand der Technik hinausgehen. Insbesondere wurden die nichtlinearen frequenzabhängigen Großsignal- und Rauschmodelle der Transistoren, die nicht nur im vorwärts-aktiven Bereich bei höchster Geschwindigkeit arbeiten, auch für verschiedene Arbeitspunkte untersucht. Mit Hilfe von 3D-EM-Simulationen wurden neue Layouts der wichtigsten Schaltungsblöcke entwickelt, was zu einer erheblich verbesserten Modell Hardware-Korrelation bei THz-Frequenzen führte. Darüber hinaus wurde ein innovativer Ansatz für das Design von passiven Bauelementen auf dem Chip mit Hilfe von asymmetrischen, breitseitig gekoppelten Leitungen angewandt, um Schaltungsblöcke, einschließlich LNAs und PAs, mit einer absoluten Bandbreite von über 100 GHz zu demonstrieren. Auf der Subsystemebene wurden der Raumtemperaturbetrieb von THz-Leistungsdetektoren und D-J-Band- Radiometern mit einer für die passive Bildgebung geeigneten Empfindlichkeit erstmals nachgewiesen. Der höchste Grad an Schaltkreiskomplexität wurde mit dem Entwurf des kompletten Polarisations- MIMO-Direktumwandlungs-IQ-TX/RX-Chipsatzes erreicht, der im Bereich von 240 bis 300 GHz arbeitet und dessen grundlegende HF-Leistung in einer Freiraum-Sichtlinienkonfiguration verifiziert wurde. Die Schaltkreise wurden mit einer neuen, am IHP entwickelten 130-nm-SiGe-BiCMOS Technologie hergestellt. Diese Technologie bietet HBTs mit ft von 470 GHz und fmax von 650 GHz und übertrifft damit die Geschwindigeit aller bisher verfügbaren BiCMOS-Prozesse. Die Herstellung integrierter Schaltungen für eine breite Palette von Anwendungen im Rahmen dieses Projekts erleichterte die Modell-Hardware-Korrelation der Technologieentwicklung und unterstützte so die Entwicklung präziser kompakter Modelle sowie die Definition von Prozessspezifikationen, die für künftige Anwendungen bis in den THz-Bereich am besten geeignet sind. Die im Rahmen des Projekts erzielten Ergebnisse zeigen das Potenzial der SiGe-HBT Technologie als zukünftige Plattform für die Integration von THz-Schaltungen.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

 
 

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