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Chemische Wege zu zweidimensionalen photonischen Kristallsensoren mit Nano / Mikrokavitäten

Fachliche Zuordnung Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
Physikalische Chemie von Molekülen, Flüssigkeiten und Grenzflächen, Biophysikalische Chemie
Förderung Förderung von 2019 bis 2021
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 426173341
 
Erstellungsjahr 2022

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Die Leistung von 2D-Photonischen Kristallsensoren kann durch den Einbau von Nano- /Mikrokavitäten erheblich verbessert werden. Solche Sensoren werden heutzutage mit Topdown-Methoden hergestellt. Um die Kosten für die Bereitstellung dieser Sensoren zu senken, sind Bottom-up-Strategien hochinteressant. Das Ziel dieses Projekts war die Entwicklung eines rein chemischen Verfahrens zur Herstellung von 2D-Photonischen Kristallsensoren mit Mikro- /Nanokavitäten. Zu diesem Zweck wurde eine Kombination aus weicher kolloidaler Lithographie und metallgestütztem Ätzen von Siliziumsubstraten untersucht. Es wurden kolloidale Masken aus stimuli-responsiven Hydrogel-Mikrogelen verwendet, um lose gepackte, hexagonal geordnete Muster zu erzeugen, die als Vorlagen für die Herstellung periodischer Lochmuster in Goldfilmen und Gold-Nanoscheiben-Muster auf Siliziumsubstraten dienten. Die Gold-Nanostrukturen wurden für das metallunterstützte Ätzen des Siliziumsubstrats verwendet, wodurch 2D-Photonisched Kristallsensoren realisiert werden konnten. Durch Ausnutzung der außergewöhnlichen Eigenschaften des Maskenmaterials, nämlich der Hydrogel-Mikrogele, konnten die Durchmesser der geätzten Strukturen lokal gesteuert werden. Ein allgemeiner Grundsatzbeweis für die vorgeschlagene Strategie zur Herstellung von 2D-Photonisched Kristallsensoren mit Mikro- /Nanokavitäten wurde erbracht. Die Einbindung einzelner Mikro-/Nanokavitäten in 2D- Photonisched Kristallsensoren mit diesem Ansatz konnte im Rahmen des Projekts jedoch nicht demonstriert werden.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

 
 

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