ICP-Plasma-Ätzanlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2019
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 428016069

Die beantragte ICP-Plasma Ätzanlage ergänzt die bestehende Ausstattung der Arbeitsgruppe Quantenoptik an der Universität des Saarlandes um ein dringend benötigtes Gerät zur Prozessierung von Mikro- und Nanostrukturen in Diamant. Die Herstellung derartiger Strukturen ermöglicht erst Experimente zur Kopplung von Farbzentren in Diamant an optische Resonatoren in photonischen Kristallstrukturen, zur Realisierung von Spin-Photon-Schnittstellen für Farbzentren in Diamant, zur Herstellung von optischen Nanoantennen für Farbzentren und zur Herstellung von Rastersondenstrukturen in Diamant für die ortsaufgelöste Magnetometrie. Die genannten Experimente sind ohne den Einsatz einer ICP-Plasma Ätzanlage nicht durchführbar. Langfristiges Ziel der o.g. Forschungsarbeiten ist es sowohl grundlegende Effekte der Wechselwirkung von Licht und Materie auf dem Niveau einzelner Quantenteilchen zu studieren, als auch Festkörpersysteme, wie Farbzentren in Diamant, und einzelne Photonen für Anwendungen in aktuellen Quantentechnologien verfügbar zu machen. Damit erschließt sich ein neues Anwendungspotential z.B. in den Gebieten der sicheren Kommunikation (Quantenkommunikation) und der hochempfindlichen Messtechnik (Quantensensorik). Die genannten Gebiete sind zentrale Säulen des neuen EU-Flaggschiffs "Quantentechnologien" und tragen somit zu höchst aktueller Forschung bei.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: ICP-Plasma-Ätzanlage
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität des Saarlandes
• Leiter: Professor Dr. Christoph Becher