Gold-Silizium Ionenstrukturierungssystem mit Rasterelektronenkontrolle

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2019
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 433703179

Für die komplementäre Nanofertigung mittels Ionenstrahlen wird ein hochauflösendes Gerät benötigt, welches präzise Strukturierung über einen großen Bereich mit hohem Automatisierungsgrad erlaubt. Dazu ist ein Ionenstrahlsystem mit hoher Stabilität über einen langen Zeitraum notwendig, so dass großflächig lithographiert werden kann. Für Forschungsarbeiten zur Silizium-Photonik, 2D Materialien, Materialphysik und Plasmonik ist die Strukturierung mit Gold und Silizium-Ionen erforderlich. Das Gerät soll darüber hinaus lokale Implantation von Ionen in vorgefertigte Nanostrukturen ermöglichen. Da auf Waferebene mit Substratdurchmessern bis zu vier Zoll strukturiert werden soll, wird eine Laser-interferometrische Positionierung der Millingprozesse mit minimalen Stitching-Fehlern benötigt. Im Rahmen der wissenschaftlichen Arbeiten sollen kleinste Strukturen mit geringsten Proximity-Effekten erstellt werden. Das System soll im multi-User-Betrieb genutzt werden und über die Fachbereichsgrenzen eingesetzt werden. Durch die Installation im Zentrum für Soft Nanoscience (SoN) soll das Gerät einem breiten Nutzerkreis zugänglich gemacht werden. Geplante Forschungsprojekte zur Nanophotonik, Nanoplasmonik und interdisziplinäre Projekte in der Photochemie und Biologie sollen reproduzierbar mit dem System durchgeführt werden und Synergien im SoN wecken. Das Gerät soll komplementäre Nanostrukturierung zu vorhandenen Technologien bieten und insbesondere über Markererkennung und einen hohen Grad von Automatisierung mit bisher verfügbaren Systemen kompatibel sein.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Gold-Silizium Ionenstrukturierungssystem mit Rasterelektronenkontrolle
• Gerätegruppe: 0930 Spezialgeräte der Halbleiterprozeßtechnik
• Antragstellende Institution: Universität Münster
• Leiter: Professor Dr. Wolfram Hans Peter Pernice, bis 6/2023; Professor Dr. Carsten Schuck, seit 7/2023