Nanodrucker basierend auf Zwei-Photonen-Absorption

• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung in 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 459730852

Das Gerät wird als Erstausstattung für die Nano-Strukturierung miniaturisierter und integrierter optischer Bauteile in verschiedenen Forschungsaufgaben am Technologie Campus Sensorik beantragt. Die Beschaffung des Gerätes verhilft der Forschungsgruppe zu einem deutlichen Ausbau der bestehenden wissenschaftlichen und technischen Kompetenzen, insbesondere bei der Anpassung der Eigenschaften von mikro-optischen und integriert-optischen Komponenten, die z.B. über Ionendiffusion oder andere mikrosystemtechnische Methoden, bevorzugt auf Wafer Basis, gewonnen werden. Damit wird die Erforschung neuartiger optischer Sensorik vorangetrieben, indem die hochgenaue Herstellung von Prototypen bzw. Funktionsmustern in einem Direktschreibverfahren ermöglicht wird. Die grundsätzliche Möglichkeit, auch Formeinsätze über dieses Verfahren zu gewinnen, erweitert das Spektrum der Möglichkeiten im Hinblick auf spätere effiziente Produktionsprozesse.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Nanodrucker basierend auf Zwei-Photonen-Absorption
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Technische Hochschule Deggendorf
• Leiterin: Professorin Dr. Maria Kufner