Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM)

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung in 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 466823919

Das beantragte Zweistrahl-Großgerät soll zur schnellen, hochgenauen und automatisierten Präparation von TEM-Lamellen benutz werden. Es soll im geplanten Transmissionselektronen-mikroskopie-Zentrum der TU Chemnitz zur Einsatz kommen und dort die Hauptlast dieser Präzisions- Präparationsaufgaben übernehmen und dabei einen hohen Durchsatz von Proben verschiedenster Beschaffenheit gewährleisten. Grundvoraussetzung dafür sind eine leistungsfähige Ionen-und Elektronenoptik, die Möglichkeiten der in-situ Nanomanipulation, ein Platin-, Kohlenstoff- und Xenondifluorid Gasinjektionssystem sowie eine hochauflösende Materialanalytik. Außerdem werden entsprechende Detektoren für die Auswahl einer geeigneten Probenstelle sowie zur Kontrolle der Lamellen benötigt. Für ein effizientes Arbeiten soll das Gerät eine weitgehende Automatisierung ermöglichen. Dies verkürzt nicht nur die benötigte Zeit pro Lamelle, sondern erlaubt auch die Vorbereitung mehrerer Proben über Nacht. Genau diese Kriterien erfüllt die hier geplante FIB/REM Kombination. Das Gerät verfügt über die geforderte Leistungsfähigkeit, Universalität und die notwendigen Alleinstellungsmerkmale und liegt strategisch auf einer Linie mit der fachlichen Ausrichtung der TU Chemnitz und des TEM-Zentrums und zeichnet sich überdies durch ein hervorragendes Preis-Leistungsverhältnis aus. Es ist für den zukünftigen Erfolg von Forschung und Entwicklung, Lehre und universitätsweiter Initiativen unerlässlich.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM)
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Bernhard Wunderle