Subfeld-Adressierung ringförmiger MEMS Shutter-Arrays mit polygonalen Strukturen

Antragsteller Professor Dr. Hartmut Hillmer
Fachliche Zuordnung Mikrosysteme
Förderung Förderung von 2021 bis 2025
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 469360309
 

Projektergebnisse

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Link zum Abschlussbericht

https://doi.org/10.34657/28884

DFG-Verfahren Sachbeihilfen