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Person
Professor Dr. Hartmut Hillmer
Adresse
Universität Kassel
Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik
34109 Kassel
- Als Antragsteller
- Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
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Dual Beam Focussed Ion Beam (Forschungsgroßgeräte) -
Nanoimprint Anlage mit SCIL Tooling (Forschungsgroßgeräte)
- 3D Mikrofabrikationssystem basierend auf 2-Photononen-Polymerisation (Forschungsgroßgeräte)
- Chemische Gasphasenabscheidungsanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD) (Forschungsgroßgeräte)
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- abgeschlossene Projekte
- Als Beteiligte Person
