3D Mikrofabrikationssystem basierend auf 2-Photononen-Polymerisation

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2020
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 440808121

Das beantragte Gerät wird benötigt, um die Expertisen der antragsstellenden Gruppen in den Bereichen der 3D-Strukturierung von Oberflächen und von Funktionselementen in gemeinsamen Projekten zu kombinieren sowie, um in der individuellen Forschung der antragsstellenden Gruppen jeweils Ziele zu verfolgen, die momentan ohne das beantragte Gerät nicht erreichbar sind. Mit Hilfe von Zwei-Photonen-Polymerisation würde die hochauflösende, präzise und additive Herstellung von Strukturen variabler Geometrie gelingen. Somit können komplexe, anisotrope und multifunktionale (magnetische, optische) 3D-Strukturen hergestellt werden. Weiterhin eröffnen sich mit dem Verfahren des beantragten Gerätes für die antragsstellenden Gruppen neue Anwendungsfelder durch Miniaturiesierungsmöglichkeiten beispielsweise im Bereich der optischen Messtechnik oder der Werkstofftechnik. Zusätzlich gelingt mit dem Verfahren die präzise Replikation biologischer Strukturen im Bereich photonischer Kristalle und biomimetischer Wellenleiterstrukturen. Weitere Vorteile bietet das beantragte Gerät bei der Weiterentwicklung in der Halbleiter-Integrationstechnologie und der Weiterentwicklung optisch basierter Quantentechnologie.All dies ist mit der momentan vorhandenen Ausstattung und mit den in den antragsstellenden Gruppen etablierten Verfahren nicht möglich, weswegen das beantragte Gerät für zielführende Forschungsarbeiten in internen Kooperationen und in den einzelnen Arbeitsgruppen benötigt wird. An unserer Universität exsistiert kein vergleichbares Gerät, mit dem die hochauflösende und präzise Herstellung komplexer 3D-Strukturen im Sub-Mikrometer-Bereich gelingt. Bei der Anschaffung des Gerätes handelt es sich um keine Ersatzbeschaffung, sodass sich mit dem beantragten Gerät neue, vielversprechende Möglichkeiten in der Forschung an unserer Universität eröffnen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: 3D Mikrofabrikationssystem basierend auf 2-Photononen-Polymerisation
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Kassel
• Leiter: Professor Dr. Hartmut Hillmer