Dual Beam Focussed Ion Beam

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 49926574

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Universität Kassel
• Leader: Professor Dr. Hartmut Hillmer