Focused Ion Beam

• Subject Area: Chemical Solid State and Surface Research
• Term: Funded in 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 50069566

Die aktuelle wissenschaftliche Forschung an Beschichtungsstoffen macht die Analyse von Grenzflächen und grenzflächennaher MikroStrukturen, sowie die Untersuchung der Volumeneigenschaften eines Lackfilms unabdingbar. Diese Aufgabe kann mit Hilfe einer Focused-lon-Beam-Anlage gelöst werden. Mit ihrem gebündelten lonenstrahl trägt die Apparatur molekulare Schichten von Probenoberflächen ab. Dabei kann nicht nur die laterale Position der lokalen Abtragung, sondern auch ihre Tiefe definiert werden. Für die Untersuchung elektrisch nicht leitender Polymerschichten ist die Methode hervorragend geeignet, da sie eine ladungsfreie Bilderzeugung gestattet. Darüber hinaus ist innerhalb der beantragten Dual-Beam-Maschine eine Beobachtung der Probe mit der integrierten SE-Mikroskopie möglich. Für Beschichtungsstoffe ist die Eignung der Methodik zur Untersuchung von feuchten und gasenden Proben wichtig. Dieses Kriterium wird von der beantragten FIB-Apparatur erfüllt. Mit Hilfe des FIB können extrem dünne Probenlamellen zur Vermessung in der Transmissions-elektronenmikroskopie geschnitten werden. Diese Anwendung ist für solche Fälle wichtig, in denen die Möglichkeiten des internen SEM nicht ausreichen. Dies ist besonders auch für die Forschungs-aufgaben in der Fakultät für Maschinenbau notwendig.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Universität Paderborn
• Leader: Professor Dr. Wolfgang Bremser